Tómarúmsuppgufunarhúð er að nota viðnámshitun eða rafeindageisla- og leysisprengjuárás til að hita efnið sem á að gufa upp að ákveðnu hitastigi í umhverfi með lofttæmisstig sem er ekki minna en 10-2Pa, þannig að varma titringsorka af sameindir eða frumeindir í efninu fara yfir yfirborðið. Bindingarorkan veldur því að mikill fjöldi sameinda eða atóma gufar upp eða sublimast og sest beint á undirlagið til að mynda þunna filmu.
Algengasta aðferðin við lofttæmisuppgufunarhúð er viðnámshitun, sem hefur kosti einfaldrar uppbyggingar upphitunargjafans, litlum tilkostnaði og þægilegri notkun. Ókosturinn er sá að hann er ekki hentugur fyrir eldföstum málmum og háhitaþolnum rafstýrðum efnum.
Jónasputtingshúð notar háhraðahreyfingu jákvæðra jóna sem myndast við gaslosun til að sprengja skotmarkið sem bakskaut undir virkni rafsviðs, sem veldur því að frumeindir eða sameindir í skotmarkinu sleppa og falla út á yfirborð húðaðs vinnustykkisins. til að mynda nauðsynlega kvikmynd. .
Sputtering tækni er frábrugðin lofttæmi uppgufun tækni. „Sputtering“ vísar til fyrirbærisins þar sem hlaðnar agnir sprengja fast yfirborð (markmið), sem veldur því að fast atóm eða sameindir kastast út af yfirborðinu. Flestar agnirnar sem kastast út eru í atómástandi, oft kölluð sputter atóm. Sputtering agnirnar sem notaðar eru til að sprengja skotmarkið geta verið rafeindir, jónir eða hlutlausar agnir. Vegna þess að auðvelt er að flýta jónum til að fá nauðsynlega hreyfiorku undir rafsviði, eru jónir aðallega notaðar sem sprengjuagnir. Sputtered jónir eiga uppruna sinn í gaslosun.
Mismunandi sputtering tækni notar mismunandi losunaraðferðir. DC díóða sputtering notar DC losun; þrípóla sputtering notar útskrift studd af heitu bakskauti; útvarpsbylgjur nota útvarpsbylgjur; segulómsputtering notar losun sem er stjórnað af segulsviði hringsins.
Sputtering húðun hefur marga kosti fram yfir lofttæmi uppgufun húðun. Til dæmis er hægt að sputtera hvaða efni sem er, sérstaklega frumefni og efnasambönd með hátt bræðslumark og lágan gufuþrýsting. Viðloðunin milli sputtered filmunnar og undirlagsins er góð; filmuþéttleiki er mikill; hægt er að stjórna filmuþykktinni og endurtekningarnákvæmni er góð o.s.frv.. Ókosturinn er sá að búnaðurinn er tiltölulega flókinn og krefst háspennubúnaðar.
Auðvitað eru kostir jónahúðunaraðferðarinnar sem sameinar uppgufun og sputtering að hún hefur mjög sterka viðloðun á milli filmunnar og undirlagsins, hefur mikla útfellingarhraða og getur framleitt afkastamikil filmur til notkunar í rafeindatækjum. Málmvinnslu- og skreytingarvöruiðnaður.
