1. Hreinleiki
Hreinleiki títanmarksins hefur mikil áhrif á eiginleika sputtered filma. Því hærra sem hreinleiki marksins er, því minni óhreinindisþáttaagnir í sputtered filmunni og því betri er frammistaða kvikmyndarinnar (eins og tæringarþol, sjón- og rafeiginleikar). Í hagnýtri notkun eru hreinleikakröfur títanmarkmiða í mismunandi tilgangi mismunandi. . Til dæmis eru hreinleikakröfur skotmarka fyrir almenna skreytingarhúðun ekki krefjandi, á meðan skotmörk fyrir samþættar rafrásir, skjámyndir og önnur svið hafa miklu meiri kröfur um hreinleika, yfirleitt um 99,999 prósent eða hærri.
2. Meðalkornstærð
Venjulega hefur títanmarkið fjölkristallaða uppbyggingu og kornastærð getur verið frá míkron til millimetra. Sputtering hraði fínkorna marksins er hraðari en grófkorna marksins. Þykktardreifing úðafilmunnar er einnig tiltölulega jöfn. Almennt er krafist að meðalkornstærð títanmarka fyrir samþættar rafrásir sé innan við 30 μm og meðalkornstærð ofurfínkornaðra títanmarka er undir 10 μm.
3. Kristall stefnumörkun
Títan er með nátengda sexhyrndu uppbyggingu. Við sputtering er títanmarkatómum auðveldlega sprottið í átt að sexhyrndu uppröðun atóma. Þess vegna, til að ná hæsta sputtering hraða, er hægt að auka sputtering hraða með því að breyta kristalbyggingu marksins. sputtering hraði. Kristöllunarstefna títanmarkmiðsins hefur einnig mikil áhrif á þykkt einsleitni sputtered filmlagsins og filmustærð flatskjásins og skreytingarhúðarinnar er tiltölulega þykk, þannig að kröfurnar um kornstefnu samsvarandi títanmarkmiðs eru tiltölulega lágt.
4. Rúmfræði og stærð
Það endurspeglast aðallega í vinnslunákvæmni og vinnslugæði, svo sem vinnslustærð, yfirborðssléttleika, ójöfnur osfrv. Lítil þykkt mun hafa áhrif á endingartíma marksins; of gróft þéttingaryfirborð og þéttingarróp munu valda tómarúmvandamálum eftir að skotmarkið er sett upp; grófun á sputtering yfirborði skotmarksins getur gert yfirborð marksins fullt af útstæðum ábendingum, undir áhrifum ábendingaáhrifa mun möguleikinn á þessum upphækkuðu ábendingum aukast til muna og þar með brjóta niður rafhleðsluna. Hins vegar er of stórt útskot skaðlegt fyrir gæði og stöðugleika sputteringarinnar.
Fyrirtækið okkar getur veitt títan málmblöndur eins ogTítan Ál Sputter TargetsogTítan Ti sputtering Target, auk títanmarkmiða af mismunandi hreinleika og lögun, og samþykkja einnig sérsniðna þjónustu. Ef nauðsyn krefur, vinsamlegast hafðu samband við okkur með tölvupósti.
