Sputtering target vísar til sputtering uppsprettu sem er sputtered og settur á undirlag við viðeigandi vinnsluaðstæður með segulrónu sputtering, multi-boga jónahúðun eða öðrum gerðum húðunarbúnaðar til að mynda ýmsar virkar kvikmyndir. Samkvæmt samsetningunni er hægt að skipta skotmörkum í hrein málmmark, málmblendi, oxíðmark, kísilmark osfrv.; eftir löguninni má skipta þeim í slétt skotmörk (rétthyrnd skotmörk og bogamarkmið) og pípulaga skotmörk. . Sputtering markmið eru mikið notuð á mörgum sviðum eins og skreytingar, verkfæri og mót, gler, rafeindatæki, hálfleiðara, segulmagnaðir upptökur, flatskjáir, sólarsellur osfrv. Mismunandi svið krefjast mismunandi markefna.
1. Skreytt húðun
Skreytt húðun vísar aðallega til yfirborðshúðunar farsíma, úra, gleraugu, hreinlætistækja, vélbúnaðarhluta og annarra vara. Það gegnir ekki aðeins hlutverki við að fegra litinn, heldur hefur það einnig slitþol, tæringarþol og aðrar aðgerðir. Helstu afbrigði af skotmörkum fyrir skreytingarhúðun eru: krómmarkmið, títanmarkmið, sirkonmarkmið, nikkelmarkmið, wolfram skotmark, títan-ál skotmark, ryðfrítt stálmark osfrv.
2. Húðun á vinnslumótum eða verkfærum
Það er aðallega notað til yfirborðsstyrkingar á verkfærum og mótum, sem getur verulega bætt endingartíma verkfæra og móta og gæði unninna hluta. Á undanförnum árum, knúin áfram af þróun flug- og bílaiðnaðarins, hefur tæknistig og framleiðsluhagkvæmni alþjóðlegs framleiðsluiðnaðar tekið miklum framförum og eftirspurn eftir afkastamiklum skurðarverkfærum og mótum eykst dag frá degi. Helstu tegundir skotmarka sem notaðar eru til að húða myglu eru: títan-álmarkmiðar, krómmarkmiðar, títanmarkmiðar osfrv.
3. Glerhúðun
Notkun markefna á gleri er aðallega til að framleiða lággeislunarhúðað gler, sem notar meginregluna um segulómsputtering til að sputtera mörgum lögum af þunnum filmum á gleri til að ná aðgerðum orkusparnaðar, ljósstýringar og skrauts. Helstu tegundir skotmarka eru: silfurmark, krómmark, títanmark, nikkel-króm mark, kísil-ál mark, títanoxíð mark osfrv. Önnur mikilvæg notkun markefna á gleri er framleiðsla baksýnisspegla fyrir bíla, aðallega króm. skotmörk, álmarkmið, títanoxíðmarkmið osfrv. Þar sem kröfur um bekk fyrir baksýnisspegla í bifreiðum halda áfram að aukast hafa mörg fyrirtæki skipt úr upprunalegu álhúðununarferlinu yfir í lofttæmandi krómhúðunarferlið.
4. Húðun rafeindatækja
Húðun rafeindatækja er aðallega notuð fyrir þunnfilmuviðnám og þunnfilmuþétta. Markefni fyrir þunnfilmuviðnám eru meðal annars NiCr mark, nikkel króm kísil (NiCrSi) mark, króm kísil (CrSi) mark, tantal (Ta) mark, nikkel króm ál (NiCrA1) mark osfrv.
5. Flatskjáhúð
Ör vöxtur í eftirspurn eftir flatskjátækjum frá færanlegum einkatölvum, sjónvörpum, farsímum o.s.frv. hefur mjög stuðlað að þróun ýmiss konar flatskjátækja. Tegundir þess eru meðal annars: fljótandi kristalskjátæki (LCD), plasmaskjátæki (PDP), osfrv. Öll þessi flatskjátæki nota ýmsar gerðir af kvikmyndum. Án þunnfilmutækni væru engin flatskjátæki. Til að tryggja einsleitni húðunar á stóru svæði, bæta framleiðni og draga úr kostnaði, er sputtertækni í auknum mæli notuð til að undirbúa þessa húðun. Helstu tegundir skotmarka sem notuð eru fyrir flatskjáhúð eru: krómmarkmið, mólýbdenmarkmið, álmarkmið, koparmark osfrv.
6. Hálfleiðara húðun
Hröð þróun upplýsingatækni krefst þess að samþættar hringrásir séu sífellt samþættari. Hvert einingatæki er samsett úr undirlagi, einangrunarlagi, raforkulagi, leiðaralagi og hlífðarlagi. Meðal þeirra, rafstraumslagið, leiðarlagið og jafnvel hlífðarlagið. Sputtering húðunarferlið er notað, þannig að sputtering markið er eitt af kjarnaefnum til að undirbúa samþættar hringrásir. Markefni fyrir hálfleiðarahúðun krefjast mikils markhreinleika, yfirleitt yfir 4N eða 5N. Helstu afbrigðin eru wolfram-títan, títan skotmörk, ál skotmörk og kopar skotmörk.
