Mólýbdenmark er sérstakt málmmark úr mólýbdeni, aðallega notað á hátæknisviðum. Mólýbden, silfurhvítur málmur, er þekktur fyrir hátt bræðslumark og góða raf- og varmaleiðni, sem gerir það kleift að vera stöðugt í háhita eða háþrýstingsumhverfi. Þess vegna gegna mólýbdenmarkmið mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraframleiðslu, þunnfilmuútfellingartækni, ljósvökvaiðnaði og lækningatækjum. Hægt er að framleiða mólýbdenmarkmið með heitri isostatic pressu (HIP), bræðslu, efnagufuútfellingu (CVD) og líkamlegri gufuútfellingu (PVD). Hver aðferð hefur sín sérkenni og notkunarsvið. Veldu viðeigandi undirbúningstækni. Fer eftir lokanotkun tilskilins mólýbdenmarkmiðs, nauðsynlegri frammistöðu og efnahagslegum sjónarmiðum.
Tengdur koparstuðningur bætir ekki aðeins afköst markmiðsins heldur hjálpar einnig til við að draga úr rekstrarkostnaði, sem er sérstaklega mikilvægt fyrir atvinnugreinar sem treysta á langtíma, stöðugan þunnfilmuútfellingu. Það hefur eftirfarandi kosti:
1. Bæta skilvirkni hitaleiðni: Kopar hefur mjög mikla hitaleiðni (um 400 W/m·K), sem er miklu hærri en mólýbden. Að binda mólýbdenmarkmiðið við koparbakplötuna getur bætt heildarhitaleiðni skilvirkni marksins verulega. Í háhraða húðunarferlum hjálpar þetta að leiða hita frá mólýbdenmarkmiðinu hraðar og kemur þannig í veg fyrir að markið ofhitni.
2. Draga úr hitaálagi: Meðan á útfellingunni stendur getur hitaálagið á markefnið valdið sprungum og brotum. Mikil varmaleiðni koparbakplötunnar hjálpar til við að dreifa hita jafnt og dregur úr hitaspennustyrk á mólýbdenmarkmiðinu og dregur þannig úr skemmdum af völdum hita.
3. Lengdu endingartímann: Með því að draga úr hitauppstreymi og bæta hitauppstreymi getur koparbakplatan verulega lengt endingartíma mólýbdenmarkmiðsins. Þessi samsetning hjálpar til við að koma í veg fyrir ótímabært slit eða skemmdir við notkun, sem leiðir til sjaldgæfara endurnýjunar og lægri langtímakostnaðar.
4. Bættu vélrænan stöðugleika: Að bæta við koparbakplötu eykur einnig heildar vélrænan stöðugleika skotmarksins. Þetta er sérstaklega mikilvægt við háhraða útfellingarferli, þar sem það hjálpar til við að viðhalda burðarvirki skotmarksins og draga úr skemmdum vegna vélræns höggs eða titrings.
5. Sterk aðlögunarhæfni: Þessi bindiaðferð getur stillt þykkt og lögun koparbakplötunnar í samræmi við mismunandi umsóknarkröfur, sem veitir meiri sveigjanleika og aðlögunarhæfni. Þetta gerir mólýbdenmarkmiðum kleift að uppfylla betur kröfur tiltekins útsetningarbúnaðar og ferla.
